氨氣
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7N電子級氨氣產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo) |
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項目/組份 |
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含量 |
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氨（NH3）純度（體積分?jǐn)?shù)）/10-2 |
≥ |
99.99999 |
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氫（H2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 |
＜ |
0.01 |
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氧+氬（O2+Ar）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 |
＜ |
0.01 |
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氮（N2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 |
＜ |
0.01 |
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一氧化碳（CO）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 |
＜ |
0.01 |
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二氧化碳（CO2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 |
＜ |
0.01 |
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烴（C1~C3）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 |
＜ |
0.01 |
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水分（H2O）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 |
＜ |
0.01 |
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總雜質(zhì)含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 |
≤ |
0.1 |
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7N電子級氨氣重金屬雜質(zhì)技術(shù)指標(biāo) |
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重金屬含量/10-6（質(zhì)量分?jǐn)?shù)） |
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氣相 |
液相 |
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銻（Sb） |
＜ |
0.005 |
0.005 |
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鎘（Cd） |
＜ |
0.001 |
0.001 |
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鈣（Ca） |
＜ |
0.01 |
0.05 |
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鉻（Cr） |
＜ |
0.001 |
0.005 |
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鈷（Co） |
＜ |
0.001 |
0.001 |
|
銅（Cu） |
＜ |
0.005 |
0.01 |
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鎵（Ga） |
＜ |
0.001 |
0.01 |
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碲（Te） |
＜ |
0.005 |
0.01 |
|
鉛（Pb） |
＜ |
0.001 |
0.001 |
|
鋰（Li） |
＜ |
0.001 |
0.001 |
|
鎂(Mg) |
＜ |
0.001 |
0.005 |
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錳（Mn） |
＜ |
0.001 |
0.005 |
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鉬（Mo） |
＜ |
0.001 |
0.001 |
|
鎳（Ni） |
＜ |
0.001 |
0.01 |
|
鉀（K） |
＜ |
0.001 |
0.001 |
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硅（Si） |
＜ |
0.01 |
0.05 |
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鈉（Na） |
＜ |
0.005 |
0.01 |
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錫（Sn） |
＜ |
0.001 |
0.005 |
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鋅（Zn） |
＜ |
0.005 |
0.01 |
|
砷（As） |
＜ |
0.001 |
0.005 |
|
鍺（Ge） |
＜ |
0.001 |
0.005 |
|
鐵（Fe） |
＜ |
0.005 |
0.01 |
|
磷（P） |
＜ |
0.005 |
0.01 |
