氯化氫
|
5N5電子級氯化氫產品技術指標 |
||
|
項目/組份 |
|
含量 |
|
氯化氫（HCl）純度（體積分數(shù)）/10-2 |
≥ |
99.9995 |
|
氧+氬（O2+Ar）含量（體積分數(shù)）/10-6 |
＜ |
0.5 |
|
氮（N2）含量（體積分數(shù)）/10-6 |
＜ |
1 |
|
二氧化碳（CO2）含量（體積分數(shù)）/10-6 |
＜ |
0.5 |
|
一氧化碳（CO）含量（體積分數(shù)）/10-6 |
＜ |
0.5 |
|
烴（CH4~C2H2）含量（體積分數(shù)）/10-6 |
＜ |
1 |
|
水分（H2O）含量（體積分數(shù)）/10-6 |
＜ |
0.5 |
|
氯（Cl2）含量（體積分數(shù)）/10-6 |
＜ |
0.5 |
|
氫（H2）含量（體積分數(shù)）/10-6 |
＜ |
0.5 |
|
5N5電子級氯化氫產品重金屬雜質技術指標 |
||
|
重金屬含量/10-6（質量分數(shù)） |
|
含量 |
|
鋁（Al） |
≤ |
0.001 |
|
砷（As） |
≤ |
0.001 |
|
硼（B） |
≤ |
0.001 |
|
鎘（Cd） |
≤ |
0.001 |
|
鉻（Cr） |
≤ |
0.001 |
|
銅（Cu） |
≤ |
0.001 |
|
鐵（Fe） |
≤ |
0.003 |
|
鈉（Na） |
≤ |
0.005 |
|
鎳（Ni） |
≤ |
0.002 |
|
磷（P） |
≤ |
0.005 |
|
鉛（Pb） |
≤ |
0.002 |
|
鋅（Zn） |
≤ |
0.005 |
|
鉬（Mo） |
≤ |
0.01 |
