5N5電子級氯化氫

所屬分類：氯化氫

發(fā)布日期：2025-01-23 14:45:16

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5N5電子級氯化氫的作用

5N5電子級氯化氫（5N5純度，即99.999%）是一種高純度、低雜質(zhì)的氣體，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電子、光伏和硬質(zhì)合金制造等領(lǐng)域。以下是其主要作用：

1. 半導(dǎo)體制造：電子級氯化氫主要用于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)中的單晶硅片氣相拋光和外延基座腐蝕，能夠有效去除硅片表面的雜質(zhì)和缺陷，提升半導(dǎo)體器件的性能。

2. 外延生長前處理：在半導(dǎo)體外延生長工藝中，電子級氯化氫可用于高溫氣相刻蝕，清除硅和砷化鎵表面的鈉離子等雜質(zhì)，確保外延層的高質(zhì)量。

3. 金屬表面處理：該氣體可用于金屬表面的化學(xué)處理，去除氧化層和其他雜質(zhì)，提高金屬表面的清潔度和反應(yīng)活性。

4. 硬質(zhì)合金制造：在硬質(zhì)合金生產(chǎn)中，電子級氯化氫用于去除雜質(zhì)和改善材料的微觀結(jié)構(gòu)，從而提升合金的性能。

5. 其他應(yīng)用：電子級氯化氫還用于激光混合氣、膠片生產(chǎn)、碳纖維表面處理等，其高純度和低雜質(zhì)特性能夠滿足這些高科技領(lǐng)域?qū)怏w質(zhì)量的嚴格要求。

由于其強腐蝕性和毒性，電子級氯化氫在使用和儲存時需要嚴格遵守安全規(guī)范，確保操作環(huán)境干燥、通風良好。

5N5電子級氯化氫產(chǎn)品技術(shù)指標
項目/組份		含量
氯化氫（HCl）純度（體積分數(shù)）/10^-2	≥	99.9995
氧+氬（O₂+Ar）含量（體積分數(shù)）/10^-6	＜	0.5
氮（N₂）含量（體積分數(shù)）/10^-6	＜	1
二氧化碳（CO₂）含量（體積分數(shù)）/10^-6	＜	0.5
一氧化碳（CO）含量（體積分數(shù)）/10^-6	＜	0.5
烴（CH_4~C₂H₂）含量（體積分數(shù)）/10^-6	＜	1
水分（H₂O）含量（體積分數(shù)）/10^-6	＜	0.5
氯（Cl₂）含量（體積分數(shù)）/10^-6	＜	0.5
氫（H₂）含量（體積分數(shù)）/10^-6	＜	0.5

5N5電子級氯化氫產(chǎn)品重金屬雜質(zhì)技術(shù)指標
重金屬含量/10^-6（質(zhì)量分數(shù)）		含量
鋁（Al）	≤	0.001
砷（As）	≤	0.001
硼（B）	≤	0.001
鎘（Cd）	≤	0.001
鉻（Cr）	≤	0.001
銅（Cu）	≤	0.001
鐵（Fe）	≤	0.003
鈉（Na）	≤	0.005
鎳（Ni）	≤	0.002
磷（P）	≤	0.005
鉛（Pb）	≤	0.002
鋅（Zn）	≤	0.005
鉬（Mo）	≤	0.01

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